CAPABILITIES / 03 — CLEANING ISO Class 5
ISO Class 5
潔淨室洗淨 + 封裝
高純度管路釋出一顆微粒，會報廢一批晶圓。我們的洗淨流程在 Class 100 潔淨室內執行，DI 水 18.2 MΩ·cm、IPA 半導體級。每批附粒徑與 ICP-MS 檢驗報告。
- CLEANROOM
- ISO Class 5 / Class 100
- INNER WALL
- 0.08µm Ra
- CHEMICAL
- 18.2 MΩ DI / 半導體級 IPA
Class 100 潔淨等級
0.08µm 內壁粗糙度
TOC < 10 ppb
隨批 ICP-MS 報告
SPECIFICATIONS
洗淨流程規格
- 潔淨等級
- Class 100 潔淨室 · ISO 14644-1 Class 5
- 內壁潔淨度
- 0.08µm Ra（拋光級）· 客戶可指定更高等級
- 微粒釋出
- < 5 particles/mL（≥ 0.1µm）· 隨批附檢驗
- 洗淨流程
- 預洗 → DI 水超音波 → 高純度 IPA → 氮氣吹掃 → 真空乾燥
- 化學品純度
- DI 水 18.2 MΩ·cm · IPA 半導體級 99.9999%
- 封裝
- Class 100 內封裝 · 雙層 PE 袋 · 氮氣置換
- 檢測
- TOC / 粒徑 / 金屬離子（ICP-MS）· 隨批附報告
- 可追溯
- 單件條碼 · 洗淨批次 · 化學品批號可追
ANALYSIS 送樣品來，
送樣品來，
5 日內出 ICP-MS 與粒徑報告
現有管材是否符合 fab 規範？我們可代測 ICP-MS、TOC、粒徑分析，並提供改善建議。