WET 01 / 03
濕製程化學品輸送
酸蝕、CMP 拋光液、清洗液等強腐蝕性化學品輸送。
- 抗 HF / 強酸
- 零金屬離子
- 長壽命循環
SOLUTIONS / 02 — SEMICONDUCTOR Ra 0.08µm 內壁
Ra 0.08µm 內壁
鎖住單批 wafer 良率
晶圓廠裡，一段管路釋出微粒就會報廢整批 wafer。我們的 PFA / FEP 管路內壁拋光至 Ra 0.08µm，零離子析出、抗強酸鹼，每批附 ICP-MS 與粒徑分析報告。
- TARGET
- Fab Tool OEM / 子系統商
- PURITY
- TOC < 10 ppb
- REPORT
- ICP-MS 隨批附
0.08 µm 內壁粗糙度
< 10 ppb TOC
+260℃ 持續耐溫
100% 隨批檢驗
TECHNICAL SPECIFICATIONS
高純度氟塑料規格
- 水冷管
- PFA / FEP / PTFE 高純度氟塑料 · 可客製內襯
- 內壁潔淨度
- 0.08µm 表面粗糙度（Ra）· 拋光級 · 隨批附檢測
- 微粒釋出
- < 5 particles/mL（≥ 0.1µm）· 隨批附檢驗報告
- 化學耐受
- 抗 H₂SO₄ / HF / HNO₃ / HCl / TMAH / IPA 全項
- 操作溫度
- −40℃ ~ +260℃（PTFE）· 短時可至 +300℃
- 離子析出
- TOC < 10 ppb · 金屬離子 < 1 ppb（隨批附 ICP-MS 報告）
- 彎曲與成型
- 3D 預成型 · 無接縫一體式 · 最小彎曲半徑 2×OD
- 潔淨包裝
- Class 100 潔淨室內封裝 · 雙層 PE 袋 + 氮氣置換
- 可追溯性
- 批次條碼 · 完整可追溯供應鏈
USE CASES
從濕製程到溫控，三個關鍵應用
GAS 02 / 03
高純度氣體與蒸氣
極低 outgassing 的 PFA 管路，符合 SEMI 標準。
- Ultra Low Outgassing
- SEMI 規範對應
- 長距離無接縫
TEMP 03 / 03
溫控介質循環
半導體製程設備內部溫控迴路，耐高溫高化學切換。
- −40 ~ +260℃
- PCW / Chiller
- Tool 客製貼合
FAB-GRADE 樣品要送進晶圓廠？
樣品要送進晶圓廠？
我們可以開立批次 ICP-MS 報告
新客戶可申請 100mL 樣品管送 fab 內部驗證；通過後可進入合約議價階段。配合貴公司供應商評估表。